高純水系統施工具體注意事項分析

超純水系統工程總體來說一般可分為三個部分：超純水制造區(CUB部分)、超純水拋光循環區(FAB部分)、超純水輸送管網(FAB各使用區)。其中超純水制造區最為復雜其又可分為：預處理、一次純水處理、超純水處理三個部分。

預處理部分主要包括：沙濾、活性炭塔(有的在沙濾前還增設反應槽、氣浮池);

一次純水部分主要包括：陰陽離子交換塔、脫氣塔、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級反滲透;

超純水部分主要包括：脫氧膜組、TOC-UV殺菌器、混床及終端過濾器。

但是由于考慮到在向工藝線設備輸送高純水過程中，輸水管道會對水質再次造成污染，因而在FAB內一般都設立拋光循環系統。拋光循環系統主要以混床為核心，再加上超濾設備，以除去向工藝生產線輸送純水的過程中，管網溶入水中的雜質。

超純水系統中各階段常用管材：

在超純水系統中管材的選用也非常重要，既要能做到保證水質、又應該做到經濟合理。超純水系統中常用管材主要包括：PVC、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超純水制造區預處理階段多采用PVC管或SUS304管。對水泵等產生震動的動力設備周邊采用SUS304管;在一次純水階段主流程采用CPVC管或SUS304管。高壓泵與反滲透(RO)之間，由于壓力高所以必須采用SUS304管及耐壓2.0Mpa級的法蘭。

由于RO對水溫有一定的要求，因而一般在RO之前有熱交換器，其周邊也應該采用SUS304管;在超純水制造階段，主流程一般應采用SUS316管和CPVC管;拋光循環區主流程一般采用SUS316管(焊接連接，并要求雙面成型)和PVDF管，超純水回收管道采用CPVC管。

在以上水處理各階段廢水排放管道均采用普通PVC管;在純水制造過程中酸堿等加藥管線，應采用耐沖擊PVC管;純水系統中使用的氮氣系統采用SUS304管，超純水拋光系統所用氮氣管道采用SUS316管;壓縮空氣系統在純水系統中作為氣動閥開關動力，一般采用SUS304管。