高純水系統(tǒng)施工具體注意事項(xiàng)分析

超純水系統(tǒng)工程總體來說一般可分為三個(gè)部分：超純水制造區(qū)(CUB部分)、超純水拋光循環(huán)區(qū)(FAB部分)、超純水輸送管網(wǎng)(FAB各使用區(qū))。其中超純水制造區(qū)最為復(fù)雜其又可分為：預(yù)處理、一次純水處理、超純水處理三個(gè)部分。

預(yù)處理部分主要包括：沙濾、活性炭塔(有的在沙濾前還增設(shè)反應(yīng)槽、氣浮池);

一次純水部分主要包括：陰陽離子交換塔、脫氣塔、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級(jí)反滲透;

超純水部分主要包括：脫氧膜組、TOC-UV殺菌器、混床及終端過濾器。

但是由于考慮到在向工藝線設(shè)備輸送高純水過程中，輸水管道會(huì)對(duì)水質(zhì)再次造成污染，因而在FAB內(nèi)一般都設(shè)立拋光循環(huán)系統(tǒng)。拋光循環(huán)系統(tǒng)主要以混床為核心，再加上超濾設(shè)備，以除去向工藝生產(chǎn)線輸送純水的過程中，管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。

超純水系統(tǒng)中各階段常用管材：

在超純水系統(tǒng)中管材的選用也非常重要，既要能做到保證水質(zhì)、又應(yīng)該做到經(jīng)濟(jì)合理。超純水系統(tǒng)中常用管材主要包括：PVC、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超純水制造區(qū)預(yù)處理階段多采用PVC管或SUS304管。對(duì)水泵等產(chǎn)生震動(dòng)的動(dòng)力設(shè)備周邊采用SUS304管;在一次純水階段主流程采用CPVC管或SUS304管。高壓泵與反滲透(RO)之間，由于壓力高所以必須采用SUS304管及耐壓2.0Mpa級(jí)的法蘭。

由于RO對(duì)水溫有一定的要求，因而一般在RO之前有熱交換器，其周邊也應(yīng)該采用SUS304管;在超純水制造階段，主流程一般應(yīng)采用SUS316管和CPVC管;拋光循環(huán)區(qū)主流程一般采用SUS316管(焊接連接，并要求雙面成型)和PVDF管，超純水回收管道采用CPVC管。

在以上水處理各階段廢水排放管道均采用普通PVC管;在純水制造過程中酸堿等加藥管線，應(yīng)采用耐沖擊PVC管;純水系統(tǒng)中使用的氮?dú)庀到y(tǒng)采用SUS304管，超純水拋光系統(tǒng)所用氮?dú)夤艿啦捎肧US316管;壓縮空氣系統(tǒng)在純水系統(tǒng)中作為氣動(dòng)閥開關(guān)動(dòng)力，一般采用SUS304管。